公司凝聚了素质高、技能强、深谙物流管理的人才,拥有经过专业培训的装卸队伍,积累了丰富的实践管理经验并提供良好的服务。
当前位置:主页 > 企业招聘 >
企业招聘
AZZURRO成功完成150mm(6吋)晶圆GaN-on-Si制作
来源:未知 作者:admin 发布时间:2018-08-04 03:17 浏览量:

  AZZURRO成功完成150mm(6吋)晶圆GaN-on-Si制作

   AZZURRO半导体建立于2003年,具有专利的大直径硅基板氮化镓(GaN-on-Si)技能,该技能源自德国Magdeburg大学,在2010年10月取得包含WELlington Partners、Good Energies和Emerald等4家创投业者共1,500万欧元的资金投入后,已正式在德烈斯登(Dresden)建立公司与产能,开端投入量产。

  AZZURRO现在有2台MOCVD(有机金属化学气相堆积法)机台,将于2011年10月完结量产设置,估计能到达每月1,400片150mm(6吋)晶圆的出货量。未来仍将继续扩大产能,规划2013年到达每月1万片晶圆,以及2015年到达2.7万片晶圆的产能。

  

   注:运用AZZURRO的专利应力操控技能,能精确操控硅基板上GaN薄膜的曲度。(点击扩大)

  led是一个生长快速的商场,商场规划超越110亿美元,不管是电视、笔电和举动设备用的背光规划,或是固态照明使用,都是各家业者所看好的商机地点,也招引了很多业者投入,商场竞争十分剧烈。

  现在LED工业仍是以50mm(2吋)或100mm(4吋)的蓝宝石基板为根底,若能使用大直径的硅基板氮化镓(GaN-on-Si)技能,便有可能充分发挥现有硅晶生态系统的齐备技能与规划经济效益,到达下降全体LED本钱的方针。若比较现行150mm(6吋)蓝宝石基板和运用AZZURRO专利GaN-on-Si技能的150 mm(6吋)晶圆,可到达超越75%质料的本钱节约。

  尽管GaN-on-Si具明显的本钱优势,但由于技能上的困难度,因而一向未能在LED业界广泛使用。首要问题在于,由于硅基板和GaN的热膨胀系数不同,在制程中会由于两种原料间的晶格错位而发生应力,进而构成曲度(bow)和薄膜厚度不均的问题。

  曲度和薄膜厚度不均不只会在后段加工时可能发生决裂,一起也会形成同一片晶圆上制作出的LED具不同的峰值波长(peak wavelength),增加了日后分选(binning)的困扰。依据AZZURRO于2011年第2季完结的150mm(6吋)GaN-on-Si晶圆来看,已可到达均匀厚度6.1μm、标准偏差0.062μm,以及均匀峰值波长451.9nm、标准偏差2.1nm的水平。

  此外,从AZZURRO曩昔12个月对数百片晶圆进行GaN薄膜制程操控的数据来看,已将曲度标准偏差从85μm逐渐渐少到15μm。一起,运用增强的曲度操控和补偿(offset)曲度操控,可进一步缩小或到达0曲度的方针。乃至,AZZURRO也能够按照客户的需求,满意客制化曲度需求。

  这首要是透过AZZURRO专利的应力操控技能,才干战胜曲度和薄膜厚度不均的问题,也才干使大直径GaN-on-Si技能得以完成商业化使用的重要关键。除了LED,GaN-on-Si亦适用于功率半导体(power semiconductors)、RF/PA等使用。

  尽管业界关于GaN-on-Si LED是否能到达与蓝宝石LED相同的效能或有疑虑,但已有研讨证明,GaN-based LED的确能到达类似效能,并且十分适用于高功率和具本钱效益的固态照明使用。

  除了本钱,GaN-on-Si与蓝宝石比较,还有其它的优势。它能使用现有的硅晶制程技能,切开等后段制程技能与资源都十分老练与齐备。此外,在出产HB和UHB LED产品所需的覆晶装置(flip chip mounting)时,硅晶原料比蓝宝石更易移除,不光出产周期可明显缩短,还能取得更佳的良率。

  AZZURRO的150mm(6吋)GaN-on-Si晶圆现已开端供给样本给客户,正进行认证,估计2011年末客户就能正式推出选用GaN-on-Si技能的LED组件。一起,2011年末曾经,AZZURRO将能供给200mm(8吋)晶圆的GaN-on-Si技能,更估计于2012年推出300mm(12吋)晶圆技能,进展遥遥领先其他业者。

  台湾具有完好的硅晶以及LED工业链,是AZZURRO十分重视的商场。AZZURRO估计于2011年7月中在台湾建立技能与客户效劳团队,活跃与业者协作,帮忙他们从现在的蓝宝石变换为选用硅晶基板架构的LED组件出产。依据AZZURRO与现有客户的协作经历,大约4个月的时刻就可顺畅变换,未来更将进一步扩大至200mm(8吋)晶圆使用,大幅节约本钱。

  作者简介:

  AZZURRO Semiconductors事务和营销副总裁

  Erwin Ysewijn自1989年效劳于日立半导体公司开端,便累积了丰厚的营销与事务经历,并了解亚洲商场,包含日本、南韩、台湾和大陆等地,亦曾担任履行多项战略购并方案,明显推进事务生长。在参加AZZURRO之前,Ysewijn是Lantiq公司的全球营销部分主管。